净化工程设计过程中，应加强对光学微电子行业净化工程设计方案分析了解,根据该工程是新建工程或者是旧厂房改造工程，并结合其具体的生产工艺、生产流程等要求确定其需要的洁净度、温湿度。再根据该工程的具体情况，同时还要考虑到生产厂家的经济承受能力,设计出一个能满足甲方生产使用要求、工程造价合理、经济节能实用的方案。

　　1、组合式空气处理机组+冷水机组+高效送风口

　　这是一个传统的净化空调系统的设计方案。组合式空气处理机组里含有各种功能段，如混合段、初效过滤段、表冷段、二次回风段(或中间段)、加热段、加湿段、中效过滤段、风机段等。其冷源由冷水机组提供。

　　优点：

　　A.空气处理效果好，因空气经过集中处理，在送风过程中被污染程度较低。送风的温度、湿度的控制比较精确;

　　B.比较适用于有集中冷源的或是较大的厂房;

　　C.空调冷热源可与厂房普通空调系统合用或独立冷热源;

　　D.维修频率较低;

　　E.车间的噪音低。

　　缺点：

　　A.需要有配套的冷冻机房或有放置热泵机组的室外空间。另需要有放置组合式空气处理机组的空调机房，如25000m3/h的组合式空气处理机组，常用外形尺寸为6450×1850×2250mm左右。对于旧厂房改造项目来说比较困难空出一个20-30┫的机房的;

　　B.造价高。

　　特点：

　　A.建议新风经过集中处理后再与回风混合，这样可以减少表冷段的冷处理负担;

　　B.这类方案一般可以适用洁净度较高的如百级、千级或万级、十万级等较低的净化无尘厂房。

　　2、光学微电子行业净化工程设计方案分析之水冷柜机+增压风柜+高效送风口

　　与前种方案比较，这是相对比较简单的空调方案。它可以大大地缩小机房的面积，水冷柜机可以根据具体的情况布置于较小机房内或净化车间内，增压风柜也可以布置于机房内或吊在机房内或在夹层内。

　　优点：

　　A.空气处理效果较好的，处理过后的空气在送风过程中被污染程度低。送风的温度、湿度控制效果可以达到较好的控制。主要在空气处理机组(增压风柜)里进行控制;

　　B.布置灵活。自带冷源;

　　C.大小厂房、新旧厂房都适用;

　　D.维修频率较低;

　　E.车间噪音低。

　　缺点：

　　A.需要小面积的机房。需要有冷却塔、冷却水泵的摆放位置;

　　B.空调机组与空调处理机组要集中布置;

　　C.造价较低。特点：这种方案可以是一次回风也可以是二次回风，具体根据车间的大小情况而定;这类方案一般可以适用于洁净度为千级、万级、十万级等的净化无尘厂房。

　　3、光学微电子行业净化工程设计方案分析之分体空调柜机++FFU送风口

　　这是简易的一个空调方案。是直接将分体空调柜机布置于车间内，并用彩钢围护起来，在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口(带初效过滤网);KLC风机过滤单元FFU均匀布置于吊顶天花。这个方案适用于对室内温湿度精度要求不高的无尘车间。

　　优点：

　　A.不需要占用机房面积，布置很灵活的;

　　B.可以满足空气的洁净度;

　　C.造价低。如此类无尘车间初投资约需要40万;

　　D.送风均匀度好。

　　缺点：

　　A.温湿度控制较差;

　　B.可以满足空气的洁净度;

　　C.FFU的维修频率高。